ITO靶材/AZO靶材/IGZO靶材

ITO靶材产品介绍： ITO粉末和TIO靶材为氧化铟和氧化锡的混合物，是一种新型的特殊功能氧化物陶瓷材料，金属铟的深加工高新技术产品，ITO薄膜的重要原料。ITO薄膜具有对可见光透明和导电的良好特性，广泛应用于IT行业液晶显示、通讯显示、建筑行业幕墙玻璃和航空航天飞机、豪华汽车上的防雾玻璃领域。 ITO靶材主要质量指标： 化学成份：In2O3:SnO2=90:10(Wt%) 纯度：≥99.99% 相对密度:99% 密度均匀性偏差:≤±0.3% 相结构:单一立方In2O3相 失氧率:≤3% 单片尺寸:250mm×200mm 300mm×300mm 350mm×320mm 厚度可按用户任意要求制造 包装:采用塑料薄膜真空封装 ITO粉末： ITO粉末主要质量指标： 化学化学成份：In2O3:SnO2=90:10(Wt%) 纯度：≥99.99% 杂质:Fe＜10ppm Pb＜10ppm Al＜10ppm Cu＜5ppm Zn＜5ppm Si＜20ppm Cd＜5ppm Co＜5ppm Ni＜5ppm 粉末的粒径：0.2-5(um) 粉末的比表面:1～20(m2/g) 粉末的理论密度:7.149(g/cm3) 粉末熔点：1900℃ 包装：采用塑料瓶装后再塑料薄膜真空封装



AZO靶材主要技术指标：*化学成分：98wt.%ZnO,2wt.%Al2O3或按用户需要提供；*纯度：3N或4N；*相对密度：≥99.5%；实测密度≥5.60g/cm3*靶材电阻率：5×10—4Ω·cm (表面电阻由于机加工等原因会明显高于此值)；*膜电阻率：采用射频磁控溅射，基片加热温度220℃，在工艺条件下：2.17×10—4Ω·cm；基片加热温度450℃，在工艺条件下：9.06×10—5Ω·cm*目前能提供的最大尺寸：400mm×200mm×9mm。