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半自动晶圆(减薄后)撕膜机STK-520 衡鹏供应

放大字体  缩小字体 发布日期:2021-04-14  浏览次数:6
核心提示:半自动晶圆(减薄后)撕膜机STK-520 衡鹏供应半自动晶圆(减薄后)撕膜机STK-520规格参数:晶圆尺寸:4568晶圆;厚度:150 ~750
 半自动晶圆(减薄后)撕膜机STK-520 衡鹏供应
 
 
 
半自动晶圆(减薄后)撕膜机STK-520规格参数:
晶圆尺寸:4”&5”&6”&8”晶圆;
厚度:150 ~750 微米;
晶圆种类:硅、砷化镓;平边或 V 型缺口晶圆;
撕胶膜种类:撕膜胶带;
                   宽度:38~100 毫米;
                   长度:100 米;
撕膜角度:<45 度,并且在 5°~45°可调节;
撕膜温度:室温到 100 ℃范围可调,控温精度+/-3℃;
晶圆台盘:通用防静电特氟隆涂层接触式金属台盘;
                带可控加热功能,温度最高可达 100℃;
                台盘带吸真空功能;
装卸方式:晶圆手动放置与取出;
防静电控制:内置防静电离子发生器;
晶圆定位:弹簧销钉定位;
控制单元:基于 PLC 控制,并配有 5.7”触摸屏;
驱动单元:伺服马达驱动;
安全保护:配置紧急停机按钮;
电源电压:单相交流电 220V,6A; 
压缩空气:5 公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟 80 升/分钟;
机器外壳:白色喷塑金属外壳;
机器指示:三色灯塔显示机台工作状态;
体积:560 毫米(宽)x1060 毫米(深)x870 毫米(含灯塔高); 
净重:75 公斤;
 
 
 
 
 
 
 
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