低温灭菌方法是利用化学灭菌剂杀灭病原微生物的方法。化学药剂进行灭菌处理时所需温度较低，通常称为低温灭菌方法或化学灭菌方法。低温灭菌使用的化学消毒剂能够杀灭所有微生物，达到灭菌保证水平，这类具有灭菌作用的化学药剂有、环氧乙烷等。化学灭菌用于不能耐受高温、湿热材质类的器械的灭菌。
常用的低温灭菌方法有过氧化氢等离子低温灭菌、环氧乙烷灭菌、低温蒸汽灭菌等。
1、过氧化氢等离子低温灭菌
通过过氧化氢液体弥散变成气体状态后对物品进行灭菌，通过产生的等离子体进行第二阶段灭菌。等离子过程还可加快、彻底分解过氧化氢气体在器械和包装材料上的残留。等离子体灭菌法的特点为作用迅速、杀菌可靠、作用温度低、清洁而无毒性残留。适用于内镜、不耐热器材、各种金属器械、玻璃等物品；能吸收水分和气体。
2、 环氧乙烷灭菌
环氧乙烷是一利无色气体，气味与相似，低浓度时无味。其气休穿透力强，可穿透玻璃纸、聚乙烯或聚氯乙烯薄膜等，对微生物的蛋白质、DNA、RNA产生非特的烷基化作用，使其失去新陈代谢的基本反应基而被杀灭，杀菌力强，杀面谱广，灭菌效果可靠，对灭菌物品损害较小等。
干热灭菌器是由双层铁板制成的方形金属箱，外壁内层装有隔热的石棉板。箱底下放置大型火炉，或在箱壁中装置电热线圈。内壁上有数个孔，供流通空气用。箱前有铁门及玻璃门，箱内有金属箱板架数层。电热烤箱的前下方装有温度调节器，可以保持所需的温度。
压力蒸汽灭菌器在一定压力下产生的蒸汽湿度高、穿透力强，能够迅速有效地杀灭微生物，是器械灭菌的主要方法之一。其特点是杀菌可靠、经济、快速、灭菌效果好。基本结构如下：
压力容器：包括灭菌室、夹套、门和其他与灭菌室相连接的部件。采用不锈钢材料，并有保温材料层。
灭菌室：放置待灭菌物品的空间
夹套：环绕焊接在灭菌室外表面的不锈钢结构，实现机械加固，灭菌室温度控制的作用。
管路系统
蒸汽进入管路：与蒸汽汽源直接相连，将蒸汽送到灭菌室或夹套。
蒸汽疏水管路：将蒸汽冷凝水排出。
灭菌室排放管路：连接灭菌室与排放管路，是灭菌室内气体及冷凝水排出外部的通道。
给水管路：为灭菌器提供工作水源。
回气管路：将灭菌室和大气相连，当内室干燥时形成真空，通过回气管路，使内室与外界大气压平衡。
自动门与灭菌室密封组件使用压缩空气或蒸汽使自动门与灭菌室密封。
热力灭菌法是利用高温使菌体蛋白质凝固或变性，酶失去活性，代谢发生障碍，致。热力灭菌法包括湿热灭菌法和干热灭菌法。湿热可使菌体蛋白凝固、变形；干热可使菌体蛋白氧化、变性、碳化和使电解质浓缩引起细胞的。热力灭菌方便、效果好、无毒，是医院消毒供应中心使用的主要灭菌方法。压力蒸汽灭菌方法是耐湿、耐热器械的灭菌方法。
压力蒸汽灭菌采用湿热灭菌法，在同样温度下，湿热的杀菌效果比干热好，有以下原因：
蛋白质凝固所需的温度与其含水量有关，含水量越大，发生凝固所需的温度越低。湿热灭菌时的菌体蛋白质可吸收水分，因而比在同一温度的干热空气中更易于凝固。
湿热灭菌过程中蒸汽放出大量潜热，进一步提高温度。在同一温度下，湿热灭菌所需时间比干热短。
湿热气体的穿透力比干热气体强，故湿热比干热收效好。高压蒸汽可以杀死一切微生物，甚至包括的芽孢，的孢子等耐高温的个体。灭菌的蒸汽温度随蒸汽压力增加而升高，通过增加蒸汽压力，灭菌时间可被大大缩短。因此它是一种有效，使用广泛的灭菌方法。
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